一种基于孔径仪的晶圆测量装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于孔径仪的晶圆测量装置，包括孔径仪和晶圆自动定位机构，所述晶圆自动定位机构用于将晶圆定位输送至孔径仪的测量点；所述晶圆自动定位机构包括水平的X向电缸；X向电缸包括沿X向直线往复动作的X向动作件；水平的Y向电缸；Y向电缸固定在X向动作件上；Y向电缸包括沿Y向直线往复动作的Y向动作件；Z向升降底座；Z向升降底座固定在Y向直线往复动作件上端；Z向升降底座可沿Z向直线升降；Z向升降底座上固定有水平的定位板；定位板上方放置有载片台；定位板上设置有多个螺纹通孔；每个螺纹通孔由下端旋入一个螺栓。本实用新型能够自动将晶圆定位至孔径仪的测量点，提高了孔径仪测量晶圆的准确性，操作方便。
基本信息
专利标题 ：
一种基于孔径仪的晶圆测量装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921753252.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-18
授权号 ：
CN210375076U
授权日 ：
2020-04-21
发明人 ：
张瑶瑶胡冬冬李娜侯永刚程实然王铖熠刘海洋许开东
申请人 ：
江苏鲁汶仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市经济开发区辽河西路8号
代理机构 ：
南京经纬专利商标代理有限公司
代理人 ：
彭英
优先权 ：
CN201921753252.6
主分类号 ：
G01B21/14
IPC分类号 ：
G01B21/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B21/00
不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件
G01B21/10
用于计量直径
G01B21/14
内径
法律状态
2020-04-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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