一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置
授权
摘要
一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置,解决了现在在对晶圆进行检测取料时,一般为人工将晶圆盛放盒内的晶圆取出,放置在晶圆测量仪上进行测量,劳动强度大工作效率低,生产成本高,不利于进行使用的问题,其包括装置本体,所述装置本体上设有升降机构,升降机构的一侧通过螺栓安装有连接箱,连接箱的内部安装有第二电机,第二电机顶端连接有转轴,转轴上连接有横梁,横梁一端的内部安装有第三电机,第三电机的一端固定有取料爪,取料爪上均匀开设有吸孔,本实用新型结构新颖,构思巧妙,便于晶圆测量时的取料,且无需人工进行取料,大大降低了劳动强度,同时也降低了企业生产成本,有利于进行使用。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020011303.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-02
授权号 :
CN211569394U
授权日 :
2020-09-25
发明人 :
梅华斌黄维铭宋瑞超
申请人 :
无锡职业技术学院
申请人地址 :
江苏省无锡市高浪西路1600号
代理机构 :
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
聂启新
优先权 :
CN202020011303.4
主分类号 :
B65G47/91
IPC分类号 :
B65G47/91
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的,如吸盘、抓手装置
法律状态
2020-09-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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