一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置
授权
摘要
一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置，解决了现在在对晶圆进行检测取料时，一般为人工将晶圆盛放盒内的晶圆取出，放置在晶圆测量仪上进行测量，劳动强度大工作效率低，生产成本高，不利于进行使用的问题，其包括装置本体，所述装置本体上设有升降机构，升降机构的一侧通过螺栓安装有连接箱，连接箱的内部安装有第二电机，第二电机顶端连接有转轴，转轴上连接有横梁，横梁一端的内部安装有第三电机，第三电机的一端固定有取料爪，取料爪上均匀开设有吸孔，本实用新型结构新颖，构思巧妙，便于晶圆测量时的取料，且无需人工进行取料，大大降低了劳动强度，同时也降低了企业生产成本，有利于进行使用。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆参数测量仪的晶圆取料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020011303.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-02
授权号 ：
CN211569394U
授权日 ：
2020-09-25
发明人 ：
梅华斌黄维铭宋瑞超
申请人 ：
无锡职业技术学院
申请人地址 ：
江苏省无锡市高浪西路1600号
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
聂启新
优先权 ：
CN202020011303.4
主分类号 ：
B65G47/91
IPC分类号 ：
B65G47/91
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
B65G47/90
捡取或放下物件或物料的装置
B65G47/91
与气动结合的，如吸盘、抓手装置
法律状态
2020-09-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
