本实用新型公开了一种具有清洗功能的晶圆研磨设备，包括顶板、漏斗盘、连接挡板、水箱外壳和喷水件，顶板通过第二伸缩柱与第三支撑杆固定连接，第三支撑杆与水箱外壳固定连接，水箱外壳与连接挡板固定连接，水箱外壳的内腔中滤水件的右侧为净水腔，净水腔内放置有潜水泵，潜水泵通过第一水管与连接水管底座相互连通，连接水管底座通过第一水管与喷水件相互连通，连接挡板通过第一支撑杆与漏斗盘固定连接。本实用新型解决了只能对单一的晶圆进行加工研磨，以及在放置晶圆时往往存在偏差错位，进而导致吸板不能将晶圆牢牢吸紧，在研磨时晶圆容易抛飞，同时传统的晶圆研磨设备只能进行简单的冲洗，并不能有效的对晶圆表面进行清洗的问题。