本实用新型公开了—种晶圆研磨设备，包括收集框，所述收集框的底部上端固定连接有第一电机，所述第一电机的上端转动连接有转轴，所述转轴的上端固定连接有转盘，所述转盘上开设有限位槽，所述限位槽的内表面固定连接有橡胶密封圈，所述限位槽的上端固定连接有若干组支撑块，且支撑块之间有间隙，所述支撑块的上端设置有放置块，且放置块与支撑块配合紧密，所述放置块的上端放置有晶圆，且晶圆与放置块上设置的凹槽相适应，所述放置块上开设有若干组第一通孔。本实用新型中，通过更换支撑块上不同型号的放置块，能够通过放置块的凹槽大小形状适应不同大小形状的晶圆，使该研磨装置可以加工型号的晶圆。