研磨液输送臂及晶圆处理设备
授权
摘要
该实用新型涉及研磨液输送臂及晶圆处理设备，能够获取到更好的清洗效果。其中所述研磨液输送臂，用于输送研磨液，包括：至少一个喷嘴，用于喷淋液体，还包括：遮挡件，设置于所述喷嘴外围，形成一喷淋区域，所述喷淋区域沿喷液方向呈外扩状。
基本信息
专利标题 ：
研磨液输送臂及晶圆处理设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921866827.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN210819145U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
张大伟
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
代理机构 ：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
董琳
优先权 ：
CN201921866827.5
主分类号 ：
B24B57/02
IPC分类号 ：
B24B57/02 B24B37/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B57/00
磨削抛光或研磨剂的进料，加料，分选或回收设备
B24B57/02
流体的，喷射的，雾化的或液化的磨削剂，抛光剂，或研磨剂的送进
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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