一种半导体芯片制作的烘干系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体芯片制作的烘干系统,包括箱体、送料单元、翻转单元和烘干单元,箱体的下表面固定连接有四个对称分布的支脚,箱体的左侧面后端固定连接有支撑板,箱体后侧板固右侧定连接有传动电机,传动电机有两个,传动电机的输出轴末端固定连接有主动轮,箱体后侧板左侧通过转轴固定连接有从动轮,从动轮与主动轮对应设置,从动轮与对应的主动轮通过传送带传动连接,两个传送带运行方向相反,传送带为金属网带,箱体的底部右端设置有进风孔,进风孔的内部固定连接有过滤网,该半导体芯片制作的烘干系统能够对芯片进行翻转烘干,避免芯片的下端出现水分残留,保证芯片烘干的均匀性,提高了烘干的效果和速率。
基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片制作的烘干系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921823640.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-28
授权号 :
CN210773284U
授权日 :
2020-06-16
发明人 :
程进徐海洋
申请人 :
苏州芯海半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市张家港市凤凰镇凤凰科技创业园B幢2层
代理机构 :
苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘盼盼
优先权 :
CN201921823640.7
主分类号 :
F26B15/18
IPC分类号 :
F26B15/18 F26B3/30 F26B5/16 F26B25/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B15/00
对具有渐进运动的制品进行干燥的机器或设备;对密集批料进行干燥的具有渐进运动的机器或设备
F26B15/10
以一条或多条直线形成的路线移动的,例如复合路线
F26B15/12
路线均为水平或略有倾斜的
F26B15/18
用环形带运送制品或批料的
法律状态
2020-06-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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