一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒
授权
摘要
本实用新型公开了一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒,包括盒体,所述盒体的顶端中心处设置有槽口,所述槽口的内部底端周侧设置有滑槽,所述滑槽的内部滑动连接有滑板,所述盒体的内部周侧设置有多个隔板,多个所述隔板的顶端固定设置有毛毡,所述盒体的一侧固定设置有铰链,所述盒体的另一侧固定设置有锁扣,所述铰链的另一端转动连接有密封门,所述密封门的另一端固定连接有锁扣,所述盒体的一侧的中心处固定连接有把手。本实用新型通过设置槽口,方便机械手臂可以直接进入取出晶圆,减少人力消耗,节省时间的消耗。本实用新型通过纯天然的毛毡,避免晶圆在运输过程产生静电,而对后续的加工造成影响。
基本信息
专利标题 :
一种便于机械手臂提取晶圆的保护盒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921951841.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-13
授权号 :
CN211767248U
授权日 :
2020-10-27
发明人 :
张熙伟潘国刚
申请人 :
江苏英锐半导体有限公司
申请人地址 :
江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921951841.5
主分类号 :
B65D25/04
IPC分类号 :
B65D25/04 B65D43/16
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器,如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器;所用的附件、封口或配件;包装元件;包装件
B65D25/00
其他种类或形式的刚性或半刚性容器的零部件
B65D25/02
内部配件
B65D25/04
隔板
法律状态
2020-10-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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