减少聚合物沉积的设备
授权
摘要
本公开的实现方式提供了一种衬底支撑组件。本公开的实现方式提供了一种用于静电吸盘的工艺配件。在一个实现方式中，提供了一种衬底支撑组件。所述衬底支撑组件包括静电吸盘，所述静电吸盘具有形成在所述静电吸盘的上部分中的第一凹陷。工艺配件包围所述静电吸盘。所述工艺配件包括内环和设置在所述内环的径向外侧的外环。所述外环包括形成在上环的上部分中的第二凹陷。所述内环定位在所述第一凹陷和所述第二凹陷内并由所述第一凹陷和所述第二凹陷支撑。所述内环的上表面和所述外环的上表面是共面的。
基本信息
专利标题 ：
减少聚合物沉积的设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922202771.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-04
授权号 ：
CN210722949U
授权日 ：
2020-06-09
发明人 ：
A·恩古耶X·常S·劳夫J·A·肯尼
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
侯颖媖
优先权 ：
CN201922202771.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-06-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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