一种清洗大直径硅片片盒用托架
授权
摘要
本实用新型提供一种清洗大直径硅片片盒用托架，包括固定梁、支撑机构、旋转框架，所述支撑机构设置于所述固定梁上，用于支撑硅片片盒的盒体；所述旋转框架连接于所述固定梁上，可相对于所述固定梁旋转；所述旋转框架用于固定硅片片盒的盒盖。本实用新型涉及的清洗大直径硅片片盒用托架，采用机械结构和自动化设备将硅片片盒的盒体和和盒盖分别固定清洗，保证硅片片盒的彻底清洗，避免重复翻转硅片片盒的盒体和盒盖，提高硅片片盒使用寿命；左右对称结构能同时清洗两批硅片片盒，节约时间，提高生产效率；采用聚偏氟乙烯材质来支撑硅片片盒的盒体，既避免了清洗过程中盒体磨损和再次沾污，又避免外界金属离子和杂质的二次污染，提高产品合格率。
基本信息
专利标题 ：
一种清洗大直径硅片片盒用托架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922380743.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-26
授权号 ：
CN211914910U
授权日 ：
2020-11-13
发明人 ：
周迎朝由佰玲武卫孙晨光刘建伟刘园谢艳杨春雪刘秒常雪岩裴坤羽祝斌刘姣龙王彦君吕莹徐荣清
申请人 ：
天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN201922380743.7
主分类号 ：
B08B13/00
IPC分类号 ：
B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B13/00
一般用于清洁机器或设备的附件或零件
法律状态
2020-11-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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