一种制备单晶的装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本申请公开了一种制备单晶的装置,属于半导体材料领域。该制备单晶的装置包括坩埚、加热线圈组和保温结构,坩埚形成生长腔,生长腔内设置籽晶,保温结构包括与籽晶对应位置设置测温孔的上保温结构,装置还包括调节机构,调节机构包括保温环组,保温环组的外径与测温孔的内径相同,保温环组的中心设置通孔,保温环组包括多个内径递减的保温环,调节机构能够将内径由大至小的保温环放入测温孔,以减小测温孔的开口面积,进而调节生长腔内的径向温度梯度。该单晶生长装置不仅可以调节生长单晶的生长腔内径向温度梯度;并且可以在降低径向温度梯度的同时,可以保证具有一定的轴向温度梯度,而可以高效率的制得高质量的单晶。

基本信息
专利标题 :
一种制备单晶的装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922422275.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-26
授权号 :
CN211471635U
授权日 :
2020-09-11
发明人 :
高宇晗方帅周敏姜兴刚窦文涛宗艳民
申请人 :
山东天岳先进材料科技有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王宽
优先权 :
CN201922422275.5
主分类号 :
C30B23/00
IPC分类号 :
C30B23/00  C30B29/36  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B23/00
冷凝气化物或材料挥发法的单晶生长
法律状态
2021-01-01 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C30B 23/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 山东天岳先进材料科技有限公司
变更后 : 山东天岳先进科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250100 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
变更后 : 250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
2020-09-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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