硬掩模组合物
授权
摘要
本文公开并要求保护的是一种用于形成旋涂硬掩模的组合物，其具有被胺取代的富勒烯衍生物和交联剂。该配方与半导体工业中使用的其他溶剂消耗相容。
基本信息
专利标题 ：
硬掩模组合物
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112119133A
申请号 ：
CN201980015053.1
公开（公告）日 ：
2020-12-22
申请日 ：
2019-02-25
授权号 ：
CN112119133B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
亚历克斯·P·G·罗宾逊盖伊·道森艾伦·布朗托马斯·拉达约翰·罗斯爱德华·杰克逊
申请人 ：
亚历克斯·P·G·罗宾逊;盖伊·道森;艾伦·布朗;托马斯·拉达;约翰·罗斯;爱德华·杰克逊
申请人地址 ：
英国伯明翰
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN201980015053.1
主分类号 ：
C09D163/04
IPC分类号 ：
C09D163/04 C01B32/152 B82Y30/00 H01L21/033
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D
涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用（化妆品入A61K，一般将液体或其他流动物料涂到表面上的方法入B05D；木材着色入B27K5/02；釉料或搪瓷釉入C03C；天然树脂、虫胶清漆、干性油、催干剂、松节油本身入C09F；除虫胶清漆外的抛光组合物、滑雪屐蜡入C09G；黏合剂或用作黏合剂的物质入C09J；用于接头或盖的密封或包装材料入C09K3/10；用于防止泄漏的材料入C09K3/12；电解或电泳生成镀层的方
C09D163/00
基于环氧树脂的涂料组合物；基于环氧树脂衍生物的涂料组合物
C09D163/04
线型酚醛环氧树脂
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2021-01-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09D 163/04
申请日 : 20190225
申请日 : 20190225
2020-12-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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