一种光学邻近矫正方法及其系统、掩膜版、设备及存储介质，光学邻近矫正方法包括：提供图形区，包括多个主图形；获取辅助图形的设置规则；基于设置规则在主图形周围设置第一辅助图形；设置规则包括辅助图形与主图形之间的第一线端距离以及相邻辅助图形之间的第二线端距离，辅助图形与主图形之间的第一间距以及相邻辅助图形之间的第二间距；基于第一线端距离、第二线端距离、第一间距和第二间距，对主图形和第一辅助图形的边缘进行扩展，获得设置禁止区域，剩余区域用于作为设置许可区域；对设置许可区域进行设置规则检查；当设置许可区域满足设置规则时，在设置许可区域中设置第二辅助图形。本发明实施例提高光学邻近矫正的精度和效果。