一种能量回收系统、回收方法以及化学机械平坦化设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种能量回收系统、回收方法以及化学机械平坦化设备，涉及半导体制造技术技术领域，用于将电机在制动时的转动能量，转化为可以回收的电能，进行回收利用。所述能量回收系统包括：监控单元，监控单元与电机电连接，在制动电机的情况下，用于监控由电机产生的再生电流；集流单元，集流单元与电机电连接，在监控单元监控到再生电流的情况下，集流单元用于集聚由电机产生的再生电流。所述能量回收方法用于应用于所述能量回收系统。所述化学机械平坦化设备包括上述技术方案所提的能量回收系统。本发明提供的能量回收系统用于化学机械平坦化设备的再生电流的能量回收。
基本信息
专利标题 ：
一种能量回收系统、回收方法以及化学机械平坦化设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114448066A
申请号 ：
CN202011219667.2
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-11-03
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金相一张月杨涛卢一泓刘青
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
王胜利
优先权 ：
CN202011219667.2
主分类号 ：
H02J7/14
IPC分类号 ：
H02J7/14 B24B37/34
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02J 7/14
申请日 : 20201103
申请日 : 20201103
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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