一种半导体结构及其形成方法，方法包括：提供基底，基底包括第一介电层以及位于第一介电层中的导电层，基底顶部形成有第二介电层，第二介电层中形成有露出导电层的开口；沿开口刻蚀导电层，在导电层中形成凹槽，凹槽的顶部与开口的底部相连，且凹槽的侧壁相对于开口的侧壁凸出；在凹槽和开口中形成导电插塞，导电插塞包括位于开口中的纵向导电插塞、以及位于凹槽中的横向导电插塞。通过横向导电插塞阻挡住纵向导电插塞的侧壁与第二介电层之间的间隙，从而降低导电层在形成导电插塞的过程中受损的概率，例如，横向导电插塞能够阻挡研磨液与导电层相接触，进而提高了半导体的性能。