本发明涉及一种非显影式的光刻方法，包括以下步骤：步骤1：光刻光和指引光分别通过第一准直透镜和第二准直透镜进行准直处理；步骤2：经由二向色镜合束，通过聚焦透镜射入匀光模组的入射端面；步骤3：通过匀光模组后的光线再次通过第三准直透镜；步骤4：准直光通过反射镜反射至第一分光片，并由第一分光片将一部分分光反射至光掩模板上；步骤5：反射回来的光将带有光掩模板上的信息，并通过第二分光片和照明光进行合束处理；步骤6：合束后将带有信息的光通过第三分光片，光束打到基底上的光刻胶，照射出光掩模板上面的信息；步骤7：由相机对样品进行实时成像观测。本发明能实时进行观测产品，同时能简化光刻工艺流程，提高精度。