本发明公开了一种湿法清洗设备高效率晶圆盒输送装置，包括晶圆输出机构、晶圆接收机构、中转机构及机械夹持机构，所述中转机构的一端连接接收机构，所述机械夹持机构设置于中转轨道的另一端，包括横向移动机构、升降机构、夹持机构及机架，所述横向移动机构与所述升降机构均安装于所述机架上；所述横向移动机构包括旋转气缸、驱动齿轮、从动齿轮，所述旋转气缸安装于机架上，所述旋转气缸的输出端连接驱动齿轮，所述驱动齿轮与从动齿轮通过传送带连接，晶圆清洗设备的各个工艺区通过一齿条连接，所述从动齿轮与所述齿条啮合连接。本发明结构紧凑，不引入新的夹持机构，晶圆盒传输过程简单，提升了晶圆的清洗效率，节省了湿法清洗设备的制造成本。