本发明公开了一种晶圆清洗设备推拉式晶圆盒装载输送系统，包括组合使用的晶圆装载装置及机械夹持装置，所述晶圆装载装置包括装载壳体、腔室隔板、推车放置腔、晶圆盒承载推车及清洗腔，所述腔室隔板沿装载壳体的长度方向设置于装载壳体内将装载壳体的内部分隔为第一移动腔与第二移动腔，所述推车放置腔设置于第二移动腔下部的一侧，所述晶圆盒承载推车设置于推车放置腔内，所述清洗腔设置于第二移动腔下部的另一侧，所述腔室隔板朝向第一移动腔的一侧设置有齿条，所述机械夹持装置能够沿晶圆装载装置的长度方向移动。本发明能够实现机械手在晶圆装载区域顺畅的转移，提高晶圆的输送效率，减少晶圆清洗设备的整体体积。