本实用新型公开了一种双晶圆反应腔式去胶机，属于清洗设备技术领域，包括机架和固定架，所述机架顶部表面焊接有固定架，所述机架顶部表面一侧安装有第一清洗槽，所述第一清洗槽一侧安装有第二清洗槽，所述第一清洗槽和第二清洗槽内腔底部表面均安装有超声波振板，所述固定架内腔顶部表面安装有步进电机组，所述步进电机组表面输出端安装有滑块，所述滑块底部表面安装有连接板。本实用新型通过步进电机组和电动伸缩杆相互配合，可将载有载有双晶圆的清洗篮依次输送至第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽中，从而能够起到对双晶圆进行二次清洗和烘干处理，既能提高了工作效率，又能节省后期烘干的时间。