一种校准晶圆片
授权
摘要
本实用新型公开了一种校准晶圆片，在晶圆上具有多组校准图形，每组校准图形包括直通校准单元、短路校准单元和负载校准单元；至少一组负载校准单元中的匹配电阻具有电阻值粗调部和/或电阻值微调部。本实用新型不但能降低量测的校准成本，提升量测产能，而且还能同时提高量测精度。
基本信息
专利标题 ：
一种校准晶圆片
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020233920.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-02
授权号 ：
CN212008893U
授权日 ：
2020-11-24
发明人 ：
罗捷林科闯谢祥政
申请人 ：
厦门市三安集成电路有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020233920.9
主分类号 ：
G01R35/00
IPC分类号 ：
G01R35/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R35/00
包含在本小类其他组中的仪器的测试或校准
法律状态
2020-11-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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