一种铜粉表面气相沉积碳的装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种铜粉表面气相沉积碳的装置，包括振动底座和密封工作筒体，所述密封工作筒体包括隔热板、铜粉进口、废气出口、废气出口挡板、甲烷进气口、气体流量计、铜粉缓释区、第一加热区、第二加热区、第三加热区、第四加热区、第五加热区、1000目振动筛、5000目振动筛、8000目振动筛、10000目振动筛、加热丝、加热丝盖板、复合材料沉降区、回收盘、隔热棉。本实用新型的铜粉表面气相沉积碳的装置结构新颖，使用灵活方便，能够使碳充分的沉积在铜的表面制得具有完整表面结构、高质量、缺陷较少的石墨烯薄膜。
基本信息
专利标题 ：
一种铜粉表面气相沉积碳的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020281789.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-10
授权号 ：
CN211872080U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
冯岳军巨佳陈立群卞方宏冉文强
申请人 ：
江阴电工合金股份有限公司;南京工程学院
申请人地址 ：
江苏省无锡市江阴市周庄镇世纪大道北段398号
代理机构 ：
江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
隋玲玲
优先权 ：
CN202020281789.3
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 B22F1/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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