一种圆片自动贴膜装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型涉及一种圆片自动贴膜装置,属于集成电路或分立器件制造技术领域。包括底座,所述底座上设有取料盒、贴空膜单元,所述取料盒内设有圆片,所述圆片经机械手移至圆片校核单元;所述贴空膜单元两侧设置放膜滚筒和收膜滚筒,膜一端经放膜滚筒引出后落至贴空膜单元并收卷于收膜滚筒上,所述底座上还设有可移动式贴膜头,所述可移动式贴膜头对裁切好的膜进行吸附并将其移动至圆片校核单元,使其裁切好的膜贴于圆片;所述底座上还设有收料盒,贴完膜的圆片经机械手移至收料盒内。本申请通过先割膜后贴膜的方式完成圆片贴膜,有效地避免了圆片贴膜过程中边缘碎裂或隐裂;增加了割膜刀片的寿命,实现了生产的连续性,提高了生产效率。

基本信息
专利标题 :
一种圆片自动贴膜装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020370187.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-20
授权号 :
CN211555838U
授权日 :
2020-09-22
发明人 :
王旭任晓塍江浩孙岩金炎
申请人 :
江阴新顺微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号
代理机构 :
江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
孙燕波
优先权 :
CN202020370187.5
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-02-05 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/67
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江阴新顺微电子有限公司
变更后 : 江苏新顺微电子股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214400 江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号
变更后 : 214400 江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号
2020-09-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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