可精细控制温度的晶圆蒸发台
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型公开了可精细控制温度的晶圆蒸发台,包括真空蒸发器本体与设置在真空蒸发器本体上的真空泵,所述真空泵的外侧设置有吸音机构,所述吸音机构包括直角板与四个金属吸音板,所述直角板上设置有若干凸起筋,且凸起筋上设置有第一六角螺丝,相邻的两个所述金属吸音板之间设置有第一直角片,且第一直角片上设置有两个第二六角螺丝,所述直角板的底部贯穿有排气管,所述直角板一侧贯穿有第一导管,且真空泵上设置有第二导管,所述直角板的一侧通过第一螺栓固定安装有直角盒,且直角盒的内部设置有内腔。本实用新型利用多个金属吸音板实现对噪音的吸收,避免了噪音污染,同时实现了真空泵的快速散热,安全性高,实用性强。

基本信息
专利标题 :
可精细控制温度的晶圆蒸发台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020409416.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-27
授权号 :
CN211858602U
授权日 :
2020-11-03
发明人 :
田英干
申请人 :
嘉兴晶装电子科技股份有限公司
申请人地址 :
浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷园区创业中心A座433室
代理机构 :
嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王大国
优先权 :
CN202020409416.X
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-10-01 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : H01L 21/67
登记号 : Y2021330001591
登记生效日 : 20210914
出质人 : 嘉兴晶装电子科技股份有限公司
质权人 : 浙江嘉善农村商业银行股份有限公司科技支行
实用新型名称 : 可精细控制温度的晶圆蒸发台
申请日 : 20200327
授权公告日 : 20201103
2020-11-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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