一种半导体集成电路制作用晶圆切割装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体集成电路制作用晶圆切割装置,涉及半导体材料技术领域。本实用新型包括主体,所述主体上部和下部分别开设有切割室和电机室,主体电机室的底部固定连接有电机一,电机一转动连接有转轴,转轴固定连接有转盘,主体切割室顶部两侧均固定连接有个支架一,支架一转动连接有丝杠一,丝杠一螺纹连接有滑板,丝杠一固定连接有电机箱旋转轴,滑板的顶部固定连接有电机二,电机二旋转轴固定连接有斜齿轮一,滑板底部两侧均固定连接有个支架二,支架二转动连接有丝杠二,丝杠二螺纹连接有滑块。本实用新型通过电机一、转轴和转盘等的配合使用,实现机器的不停机持续工作,节约时间,缩短生产周期,进而提高生产效率。
基本信息
专利标题 :
一种半导体集成电路制作用晶圆切割装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020438040.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-31
授权号 :
CN211991435U
授权日 :
2020-11-24
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
北京旺达世嘉科技发展有限公司
申请人地址 :
北京市东城区和平里东街14号院2号楼222房间
代理机构 :
合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
晋圣智
优先权 :
CN202020438040.5
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38 B23K26/402 B23K26/08 B23K26/70
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2020-11-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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