一种扩散炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种改进的扩散炉，包括具有腔体的炉体，所述炉体具有相对的头部和尾部，所述头部设置有炉门，所述尾部上开设与所述腔体连通的通气口；所述扩散炉还包括气管，所述炉体的尾部上开设有供所述气管插入所述腔体的安装孔，所述气管插设于所述炉体中并伸至所述尾部外的第一端及位于所述腔体内的第二端，所述第二端伸至邻近所述炉门的位置；所述扩散炉还包括用于向所述腔体通入气体的进气管道及用于抽出所述腔体内的尾气的真空泵；所述进气管道和所述气管的第一端连接，所述真空泵和所述通气口连接。该扩散炉可以减少偏磷酸累积。
基本信息
专利标题 ：
一种扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020490166.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-07
授权号 ：
CN212426244U
授权日 ：
2021-01-29
发明人 ：
时宝魏青竹倪志春鲁科张树德钱洪强连维飞
申请人 ：
苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟市沙家浜常昆工业园
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
李萍
优先权 ：
CN202020490166.7
主分类号 ：
C30B31/16
IPC分类号 ：
C30B31/16 C30B31/10 H01L31/18 C30B29/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/16
气体供给或排出的装置；气流的变换
法律状态
2021-01-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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