一种扩散炉
授权
摘要
本实用新型提供了一种扩散炉，包括：炉体、炉门、进气管和排气管，所述炉体上设有进料口，所述炉门用于密封所述进料口，所述排气管相对所述进料口穿设在所述炉体上；其中，所述进气管包括直管部和弯管部，所述弯管部设于所述炉体内，且靠近所述进料口设置，所述直管部包括第一进气口和第一排气口，所述弯管部包括第二进气口和第二排气口；所述第一进气口设于所述炉体外，所述第一排气口与所述第二进气口连通，所述第二排气口的中心线垂直于所述进料口的中心线。可以避免工艺气体直接冲刷所述炉门，减少所述炉门内侧附着的杂质，提高扩散过程的稳定性和均匀性，减少停机更换炉门的操作，提高生产效率和产能。
基本信息
专利标题 ：
一种扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122517791.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-19
授权号 ：
CN216338074U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
赵赞良樊建江韩晓辉王武林陈宇晖
申请人 ：
宁夏隆基乐叶科技有限公司
申请人地址 ：
宁夏回族自治区银川市银川经济技术开发区宏图南街115号
代理机构 ：
北京润泽恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵娟
优先权 ：
CN202122517791.3
主分类号 ：
C30B31/16
IPC分类号 ：
C30B31/16 C30B29/06 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/16
气体供给或排出的装置；气流的变换
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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