一种扩散炉
授权
摘要
本申请公开了一种扩散炉，包括扩散炉本体，所述扩散炉本体的两侧分别为炉门和炉尾，所述扩散炉本体的位于所述炉尾一侧底部的内侧面位置开设有容纳延伸管的孔，所述延伸管的一端连接至进气管道，另一端位于所述扩散炉本体内部的靠近所述炉门的位置，且所述扩散炉本体炉尾的出口依次连接至出气管道和抽真空装置。本申请提供的上述扩散炉，能够避免炉口累积酸液产生腐蚀，提高石英管的使用寿命，降低保养的频率，避免积液进入真空泵造成损坏，提高真空泵的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021598849.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-04
授权号 ：
CN213013168U
授权日 ：
2021-04-20
发明人 ：
张树德魏青竹倪志春时宝钱洪强连维飞
申请人 ：
苏州腾晖光伏技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟沙家浜常昆工业园腾晖路1号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘翠香
优先权 ：
CN202021598849.0
主分类号 ：
C30B31/16
IPC分类号 ：
C30B31/16 C30B29/06 H01L31/18 H01L31/028 H01L31/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/16
气体供给或排出的装置；气流的变换
法律状态
2021-04-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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