一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置
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摘要
本实用新型公开了一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置，包括镀膜机，所述镀膜机包括镀膜室，且镀膜室内安装有安置架，所述安置架包括底座、定位圆环、搁置架、转动扣、支撑轴和圆盘，所述底座的表面安装有多个转动扣，且转动扣上固定连接有套座一，所述底座通过支撑轴转动安装在镀膜室内，且底座设置在定位圆环的正下方，所述支撑轴上远离底座的一端垂直连接在圆盘的圆心。该种磨损试验件磁控溅射镀膜装置，通过设置可拆卸搁置架的安置架，能在磨损试验件进行镀膜后，快速更换未镀膜的磨损试验件，而且可拆卸的搁置架，员工能提前对磨损试验件进行摆放，搁置架的两端分别活动连接在两个套座之间，既方便固定又能及时拆卸。
基本信息
专利标题 ：
一种磨损试验件磁控溅射镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020574227.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-17
授权号 ：
CN212404262U
授权日 ：
2021-01-26
发明人 ：
张广安蔡恰恰张浮格
申请人 ：
徐州睿创智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市铜山区大学路99号高新区大学创业园A205-76
代理机构 ：
徐州创荣知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
晏荣府
优先权 ：
CN202020574227.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-01-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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