位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统，该位置灵敏探测器包括：光敏器件层，用于接收第一波长光，并转换成电信号；光转换结构，光转换结构包括透明基板和第一光转换层；透明基板位于光敏器件层之上；第一光转换层设置有横向间隔分布的反光区和光转换透光区，光转换透光区用于将照射到第一光转换层上的第二波长光进行散射，并转换为第一波长光，其中，第二波长光的波长大于第一波长光的波长；透明基板远离第一光转换层一侧的表面为非球面。本实用新型实施例提供的技术方案，第一光转换层中光转换透光区用于将照射到第一光转换层上的第二波长光进行散射，并转换为第一波长光，降低了位置灵敏探测器的加工难度以及生产成本。

基本信息

专利标题：

位置灵敏探测器以及掩膜版对准系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020625464.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-23

授权号：

CN211605165U

授权日：

2020-09-29

发明人：

高安孙建超忻斌杰陈小娟

申请人：

上海微电子装备(集团)股份有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

孟金喆

优先权：

CN202020625464.2

主分类号：

H01L31/0232

IPC分类号：

H01L31/0232 G03F9/00 G01B11/00