一种半导体加工用表面清洁装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体加工用表面清洁装置，包括顶板，所述顶板底部表面的两侧均固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定连接有升降板，所述升降板底部表面中心处的两侧均固定连接有连接柱，所述连接柱的底部固定连接有清理框，所述清理框内腔的底部固定连接有清理板，所述清理板底部表面的前侧固定连接有清理毛。本实用新型可使表面清洁装置对半导体表面进行清灰和吹灰，这样表面清洁装置的清洁更加彻底，解决了表面清洁装置在使用时，因只能进行清灰或吹灰，使得粘结在表面浮灰无法被清理，造成清洁后的半导体表面仍然不洁净，从而导致清洁装置出现清洁效果较差的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体加工用表面清洁装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020988315.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-03
授权号 ：
CN213079226U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
郭顺杰
申请人 ：
上海锶坎电子有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区南翔镇静塘路988号2幢J1064室
代理机构 ：
南昌金轩知识产权代理有限公司
代理人 ：
石红丽
优先权 ：
CN202020988315.2
主分类号 ：
B08B1/02
IPC分类号 ：
B08B1/02 B08B5/02 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/02
运动中工件的清洁，如在传送装置上的成卷织物或物品
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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