一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置
授权
摘要
本实用新型提供一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置。化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括：沉积炉本体；连接管，所述连接管固定安装在所述沉积炉本体的顶部；收集箱，所述收集箱设于所述沉积炉本体的一侧，所述连接管远离所述沉积炉本体的一端延伸至所述收集箱内。本实用新型提供的化学气相沉积炉的粉尘收集装置通过设置第一滤布，能够将粉尘阻挡在收集箱内，设置多个清理丝，能够使得第一滤布能够保持良好的通透性，从而避免较多的粉尘附着在第一滤布上；设置第二滤布，能够使风机在关闭的情况下，粉尘回流到沉积炉本体内；设置V形板，使得进入收集箱内的粉尘大部分被阻挡在V形板的下方，更有利于粉尘的沉降。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021013623.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-05
授权号 ：
CN213193032U
授权日 ：
2021-05-14
发明人 ：
贺鹏博周帆
申请人 ：
湖南铠欣新材料科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
代理机构 ：
长沙轩荣专利代理有限公司
代理人 ：
张勇
优先权 ：
CN202021013623.X
主分类号 ：
B01D50/00
IPC分类号 ：
B01D50/00 C23C16/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2021-05-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
