一种常压化学气相淀积设备超声清洗振板
授权
摘要
本实用新型公开了一种常压化学气相淀积设备超声清洗振板，包括机体，所述机体的顶部两侧对称设置有两个支撑板，两个所述支撑板相对的一侧侧壁上固连接有两个对称设置的滑动杆，两个所述支撑板的顶部架设有反应器，所述反应器内设安装腔，所述反应器的安装腔底部横向排列固定有多个反应基体，所述反应器的一侧侧壁上固定连接有进水口。本实用新型涉及常压化学气相沉淀技术领域，主要利用超声波发生器将动能传递给换能器，换能器带动洗振板发生振动并产生能量水波对反应器内部的残留薄膜进行冲洗，使其破裂脱离，再通过真空旋转泵的压力作用将薄膜残渣混合物带入到分离器进行分离处理。
基本信息
专利标题 ：
一种常压化学气相淀积设备超声清洗振板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021042686.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-08
授权号 ：
CN212533118U
授权日 ：
2021-02-12
发明人 ：
赵志强
申请人 ：
无锡芯谱半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市会西路30-34(无锡光电新材料科技园内)
代理机构 ：
北京中政联科专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
韩璐
优先权 ：
CN202021042686.8
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 B08B3/12
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-02-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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