一种便于检修的气相沉积金刚石制备设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种便于检修的气相沉积金刚石制备设备，包括外壳，所述外壳的上端设置有底座,所述底座的上端设置有基板，所述基板的上端设置有等离子体器。本实用新型所述的一种便于检修的气相沉积金刚石制备设备，在设备发生故障时，通过设置有箱柜，可以及时的拿到必要的维修工具进行维修，减少了时间，沉积台与外壳之间设置有升降装置，沉积台通过升降装置与外壳实现上下移动，能够实现金刚石的连续生长，避免了随着金刚石厚度的增加，金刚石表面的生长温度随着增加的问题，能够实现金刚石的稳定高效生长，其气相沉积金刚石制备设备的结构简单，方便检修，加工成本低，使用的效果相对于传统方式更好。
基本信息
专利标题 ：
一种便于检修的气相沉积金刚石制备设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021106274.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-16
授权号 ：
CN213476094U
授权日 ：
2021-06-18
发明人 ：
陈飞于志华张杰张奇
申请人 ：
东莞市三体精密工具有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇锦厦社区河东二路11号厂房第2栋1楼E区
代理机构 ：
北京化育知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹均利
优先权 ：
CN202021106274.6
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/511
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2021-06-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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