在复杂形状刀具上制备金刚石薄膜的化学气相沉积方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
一种镀覆技术领域的在复杂形状刀具上制备金刚石薄膜的化学气相沉积方法，在热丝CVD沉积金刚石薄膜的基础上，采用螺旋形热丝结构进行复杂形状刀具金刚石涂层的沉积，将复杂形状刀具竖直放入螺旋形热丝结构的内部，其轴心和螺旋形热丝结构的中心相重合，在沉积过程中，复杂形状刀具自身通过设备工作台绕其轴心旋转，采用螺旋形热丝结构保证了复杂形状刀具各部分与热丝之间的距离均匀，使复杂形状刀具周围的碳源基团浓度均匀相等，从而保证涂层的均匀性，同时衬底自身的旋转也有效地增强衬底表面薄膜的均匀性。本发明能够有效保证复杂形状刀具表面金刚石薄膜的均匀性，同时形核速率高，生长速率快，沉积后的金刚石薄膜均匀而且质量良好。
基本信息
专利标题 ：
在复杂形状刀具上制备金刚石薄膜的化学气相沉积方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1818131A
申请号 ：
CN200610024508.0
公开（公告）日 ：
2006-08-16
申请日 ：
2006-03-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王勇马玉平孙方宏陈明张志明
申请人 ：
上海交通大学
申请人地址 ：
200240上海市闵行区东川路800号
代理机构 ：
上海交达专利事务所
代理人 ：
王锡麟
优先权 ：
CN200610024508.0
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/513 C23C16/52 C23C16/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2009-04-08 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
2006-10-11 ：
实质审查的生效
2006-08-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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