一种可有效避免污染的半导体芯片烘干装置
授权
摘要
本实用新型涉及半导体芯片烘干领域，公开了一种可有效避免污染的半导体芯片烘干装置，包括烘干箱和集尘袋；所述烘干箱内部两侧水平开设有滑槽A，所述滑槽A的数量为三组，所述滑槽A内活动安装有活动架，所述活动架顶部设有烘干座，所述烘干座的数量为多组；所述烘干箱内部中部两侧垂直开设有滑槽B，所述滑槽B内活动安装有挡板，所述烘干箱右端通过合页活动安装有箱门。本实用新型通过活动架位于滑槽A内移动置烘干箱内部右侧，再关闭挡板，再开启箱门即可实现半导体芯片的摆放或取出，而活动架移动置烘干箱内部左侧或者右侧时及时关闭挡板从而起到防尘效果，其挡板能够有效避免灰尘进入烘干箱内部左侧，可有效避免污染。
基本信息
专利标题 ：
一种可有效避免污染的半导体芯片烘干装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021110736.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-16
授权号 ：
CN212720498U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
李双玉
申请人 ：
涌明科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
上海市金山区枫泾镇泾商路99弄3023号306室
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
商祥淑
优先权 ：
CN202021110736.1
主分类号 ：
F26B3/28
IPC分类号 ：
F26B3/28 F26B9/06 F26B25/12 F26B25/06 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B3/00
需要用加热方法来干燥固体材料或制品
F26B3/28
用辐射作用，例如利用太阳
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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