一种化学气相沉积装置用水蒸气注入结构
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摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积装置用水蒸气注入结构,包括底板、腔室和箱体,所述底板顶端的一侧固定连接有腔室,所述底板顶端的另一侧固定连接有箱体,所述腔室内部的底端固定连接有壳体,所述壳体的顶端均设置有出气管,所述壳体的内部设置有过滤结构,所述壳体内部的底端贯穿有通气管,所述箱体的内部设置有净化结构。本实用新型通过在过滤结构的内部依次设置有滤网、除尘板、连接块和连接座,使用时,水蒸气进入壳体的内部,向上方流动时,先经由除尘板处,除尘板对空气中产生的灰尘进行过滤,并且在除尘板的上方设置有滤网,滤网可以对水蒸气中的颗粒杂质进行过滤,避免堵塞出气管的出口,影响正常使用,增加了设备的工作效率。

基本信息
专利标题 :
一种化学气相沉积装置用水蒸气注入结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021176661.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-23
授权号 :
CN212701208U
授权日 :
2021-03-16
发明人 :
汪小知李鹏周晴
申请人 :
杭州英希捷科技有限责任公司
申请人地址 :
浙江省杭州市萧山区萧山经济技术开发区启迪路198号C座1303室
代理机构 :
杭州融方专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
沈相权
优先权 :
CN202021176661.7
主分类号 :
B01D53/04
IPC分类号 :
B01D53/04  B01D46/12  C23C16/455  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离;从气体中回收挥发性溶剂的蒸气;废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
B01D53/02
通过吸附作用,例如,制备气相色谱法
B01D53/04
用固定的吸附剂
法律状态
2021-03-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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