本实用新型公开了一种化学气相沉积装置用水蒸气注入结构，包括底板、腔室和箱体，所述底板顶端的一侧固定连接有腔室，所述底板顶端的另一侧固定连接有箱体，所述腔室内部的底端固定连接有壳体，所述壳体的顶端均设置有出气管，所述壳体的内部设置有过滤结构，所述壳体内部的底端贯穿有通气管，所述箱体的内部设置有净化结构。本实用新型通过在过滤结构的内部依次设置有滤网、除尘板、连接块和连接座，使用时，水蒸气进入壳体的内部，向上方流动时，先经由除尘板处，除尘板对空气中产生的灰尘进行过滤，并且在除尘板的上方设置有滤网，滤网可以对水蒸气中的颗粒杂质进行过滤，避免堵塞出气管的出口，影响正常使用，增加了设备的工作效率。