一种多工位化学气相沉积炉
授权
摘要
本实用新型提供一种多工位化学气相沉积炉。多工位化学气相沉积炉，包括：炉体；空心管，所述空心管固定安装在炉体内，所述空心管的一端延伸至炉体外；送料筒，所述送料筒滑动安装在空心管内；第一电机，所述第一电机固定安装在炉体的一侧；第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮固定安装在第一电机的输出轴上；内螺纹套筒，所述内螺纹套筒转动安装在空心管内，所述内螺纹套筒的一端延伸至炉体外；第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮固定套设在内螺纹套筒上，所述第一锥形齿轮与第二锥形齿轮啮合；外螺纹管，所述外螺纹管螺纹安装在内螺纹套筒内。本实用新型提供的多工位化学气相沉积炉具有使用方便、进料管能够自动进行收送的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种多工位化学气相沉积炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021300747.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-06
授权号 ：
CN212770943U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
贺鹏博周帆
申请人 ：
湖南铠欣新材料科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
代理机构 ：
长沙轩荣专利代理有限公司
代理人 ：
黄艺平
优先权 ：
CN202021300747.6
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
