本实用新型属于晶圆生产技术领域，提供了一种晶圆自动检测线，包括料架、原子力显微镜、共聚焦显微镜、机械臂以及控制器，原子力显微镜设有两台，两原子力显微镜、共聚焦显微镜和料架均围绕机械臂，且于机械臂的运动半径内设置；料架的花篮放置架上设有若干花篮放置位，花篮放置架上分别设有与花篮放置位对应设置的花篮定位机构；机械臂的连接手腕固定安装有固定座，固定座上固定安装有晶圆托板，晶圆托板的末端具有一晶圆托放部，晶圆托放部的上表面开设有吸片孔。本实用新型相较传统的人工取放晶圆进行检测的检测方式，不但检测效率大大提高，且在检测过程中不会对晶圆造成划伤，确保了晶圆质量不受影响。