应用于芯片老化测试设备的芯片拾取机构
授权
摘要
本实用新型揭示了应用于芯片老化测试设备的芯片拾取机构，设置在芯片老化测试设备的运转载架上，芯片拾取机构包括用于搭载在运转载架上的固定板座，固定板座上设有升降滑块、及用于驱动升降滑块升降位移的驱动源，升降滑块上设有用于装载负压吸附杆的穿接通道，负压吸附杆在穿接通道内设有升降浮动位移。本实用新型满足负压吸附杆初始化高度调节及浮动拾取行程需求，调节操作方便高效，降低了人力调节成本。导杆与升降滑块形成小型气缸结构，降低了驱动源成本，同时使得重量减轻降低了运行惯性偏差，满足拾取料精确对位需求。易于实现批量化位置度调节，满足不同落差等特殊调节的灵活性。
基本信息
专利标题 ：
应用于芯片老化测试设备的芯片拾取机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021366621.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-13
授权号 ：
CN212907685U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
丁鹏
申请人 ：
无锡挈领科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市鸿桥路801-1801
代理机构 ：
北京国坤专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵红霞
优先权 ：
CN202021366621.9
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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