一种化学气相沉积用互联管道系统
授权
摘要
本实用新型属于化学气相沉积设备技术领域，公开一种化学气相沉积用互联管道系统。包括第一储液罐、第二储液罐、第三储液罐、第四储液罐；其中，第一储液罐和第二储液罐采用并联放置，其中第一储液罐和第四储液罐、第一储液罐和第三储液罐、第二储液罐和第三储液罐、第二储液罐和第四储液罐、第三储液罐和第四储液罐可通过管道串联连接。本实用新型通过互联管道系统的设置，能够通过不同罐体的配合，满足不同生产周期的需求，生产周期长时不用在生产过程中经常性地对前体进行补充；同时长期放置的恒定液面罐，可以通过管道系统的连通路径设置，也可将其作为液体补充罐来使用，避免前体溶液长时间存放对使用效能产生影响。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积用互联管道系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021400177.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-16
授权号 ：
CN212688176U
授权日 ：
2021-03-12
发明人 ：
张东生李江涛吴恒潘广镇姚栋嘉刘喜宗王亚辉董会娜杨超
申请人 ：
巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司
申请人地址 ：
河南省郑州市巩义市站街镇胡坡村
代理机构 ：
郑州豫开专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张智伟
优先权 ：
CN202021400177.8
主分类号 ：
C23C16/455
IPC分类号 ：
C23C16/455 C23C16/448
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2021-03-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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