本实用新型提供一种水冷热屏用清洁装置及单晶炉，包括充气环路，所述充气环路用于设置在水冷热屏上方，且大小与所述水冷热屏相适应，所述充气环路下方设有气孔，所述气孔与所述水冷热屏相对设置；充气法兰，所述充气法兰与所述充气环路连通，所述充气法兰设有进口，所述进口用于充气；空心柱体，所述空心柱体的一端与所述充气法兰连接，另一端与充气环路连接，用于导入气体并定位所述充气环路的位置。根据本实用新型实施例的水冷热屏用清洁装置，能过在单晶炉中清洁水冷热屏，减少水冷热屏表面附着物，提升水冷热屏对单晶的冷却效果，保证单晶生长过程稳定。此外提高氩气流量及压力，保证吹扫效果。且该装置结构简单，便于生产和制造。