一种适用于透明晶元的OF对准装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种适用于透明晶元的OF对准装置，包括卡座，所述卡座的内部设有装置槽，所述装置槽的内部设有待对准的晶圆本体，所述卡座的内部设有用于提供动力并带动晶圆本体转动的驱动机构，所述卡座的上端设有与驱动机构配合的用于对晶圆本体进行对准的检测机构，所述卡座的上端设有用于带动晶圆本体移动的移位机构。本实用新型结构合理，可以通过电机带动晶圆旋转，然后在红外发射器以及红外接收器的配合下，对晶圆的外缘进行检测。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于透明晶元的OF对准装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021538900.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
CN212810241U
授权日 ：
2021-03-26
发明人 ：
张俊杰
申请人 ：
上海图双精密装备有限公司
申请人地址 ：
上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧
代理机构 ：
上海汇齐专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
童强
优先权 ：
CN202021538900.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/68 G01B11/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-03-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
