本实用新型提供一种新型高效化学气相沉积炉，涉及化学生产制备领域，包括固定板，所述固定板的内部套设有外壳，所述外壳顶端的外表面连通有进料口，所述外壳顶端远离进料口的一侧连通有排气口，所述外壳的底面开设有出料口，所述外壳的底部设置有收料箱，所述外壳的底部设置有下料机构，所述下料机构包括沉积盒，所述沉积盒与外壳的内壁固定连接，所述沉积盒的下表面开设有下料口，所述外壳的内部设置有清理机构，所述外壳内壁远离收料箱的一端固定安装有沉积板。本实用新型，通过设置该结构，可以不用操作人员直接从反应炉中取料，避免了在取料过程中产品洒出，造成浪费，同时也节省了人力。