水冷式蒸发电极及具有该电极的真空蒸镀装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种水冷式蒸发电极，包括连接柱及连接于所述连接柱下的电极柱体，所述电极柱体内开设有中空腔体，所述电极柱体的一侧设置有与所述中空腔体联通的冷却水进口，所述中空腔体内穿设有导流管，冷却水从所述冷却水进口进入，经过导流管后从所述导流管的出口端流出。本实用新型的有益效果体现在：冷却水在电极柱体内呈直角转角的方向流动，形成了冷却水的循环，更高效的带走铜电极的热量，达到了充分冷却的效果，从而延长电极使用寿命。其能很好的蒸发熔点高的金属，保证了后续器件薄膜的性能。

基本信息

专利标题：

水冷式蒸发电极及具有该电极的真空蒸镀装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021643292.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-10

授权号：

CN213388865U

授权日：

2021-06-08

发明人：

张敬娣颜峰李凌冯敏强廖良生武启飞顾婉莹陈敏

申请人：

苏州方昇光电股份有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市工业园区星湖街218号A4楼102室

代理机构：

南京苏科专利代理有限责任公司

代理人：

蒋慧妮

优先权：

CN202021643292.8

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24