外置式气相沉积设备排气装置
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摘要
本实用新型公开了外置式气相沉积设备排气装置，包括排气装置主体，所述排气装置主体的内端中心设有中空管，所述中空管的侧端位置套接有套轴管，所述套轴管的侧端位置连通有排气部件，所述排气部件包括抽气端口、密封垫块、抽气机和连通管，所述抽气机设在排气部件的内端中心，所述抽气机的侧端位置与连通管相连通，所述连通管的底部位置与抽气端口相连通设置，所述抽气端口的侧部位置处与密封垫块相固定，所述抽气端口包括导管、第一导口盘和第二导口盘，所述导管设在抽气端口的内端中心，所述导管的侧端与第一导口盘相连通。本实用新型为外置式气相沉积设备排气装置，通过排气部件的设置，实现内端排气的目的。
基本信息
专利标题 ：
外置式气相沉积设备排气装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021643621.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-10
授权号 ：
CN213162381U
授权日 ：
2021-05-11
发明人 ：
浦招前
申请人 ：
苏州派华纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路2008号5号楼3层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021643621.9
主分类号 ：
B08B15/04
IPC分类号 ：
B08B15/04 C23C16/54
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B15/00
防止污物或烟尘从产生处逸出；从产生处收集或清除污物或烟尘
B08B15/04
从一小范围的，如一设备
法律状态
2021-05-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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