一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置

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摘要

本实用新型公开了一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置，包括磁控装置，磁控装置由齿轮一、齿轮二、齿轮三和永磁体组成，齿轮一的中部安装有连接杆，连接杆的内侧设置有驱动电机且外端连接有支撑杆一，驱动电机的动力输出端与连接杆相连接，支撑杆一的外端安装有配重块一，配重块一位于齿轮一的外侧，齿轮一与上方的齿轮二啮合，齿轮二与右侧的齿轮三相啮合，齿轮三的外侧水平安装有支撑杆二，支撑杆二的内端安装有配重块二且外端与永磁体相连接，配重块二位于齿轮三的正上方，永磁体位于齿轮三的外侧。本实用新型对物理气相沉积铝腔体的磁控装置进行了改进，磁力线在靶材表面分布更均匀，从而提高靶材的利用率，节省生产成本。

基本信息

专利标题：

一种全新的物理气相沉积铝腔体磁控装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021699819.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-15

授权号：

CN212925154U

授权日：

2021-04-09

发明人：

刘祥超

申请人：

上海知昊电子科技有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区川宏路528号

代理机构：

上海领洋专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

俞晨波

优先权：

CN202021699819.9

主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

C23C14/35