悬挂式气相沉积加速筒
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摘要

本实用新型公开了悬挂式气相沉积加速筒,包括加速筒和接收装置,所述接收装置安装在加速筒的底端,所述加速筒中安装有降温筒,所述降温筒上开设有固定插孔,且固定插孔设有两个,所述降温筒的底端面中部固定连接有连接杆,所述降温筒的内部固定安装有螺旋降温管,所述螺旋降温管的两端均固定连接有连接管,且所述连接管固定焊接在固定插孔的内部,所述降温筒的上端通过螺栓固定安装有密封盖,所述密封盖的上端固定安装有固定悬挂板,所述接收装置的底部安装有接水斗,所述接水斗的上端中部固定安装有固定杆,所述固定杆的上端固定安装有滑动卡块。本实用新型安装在沉积室的内部,可以直接快速的对沉积室的内部进行降温,加快了镀膜的效率。

基本信息
专利标题 :
悬挂式气相沉积加速筒
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021741776.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-20
授权号 :
CN213255464U
授权日 :
2021-05-25
发明人 :
浦招前
申请人 :
苏州派华纳米科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市相城区渭塘镇钻石路2008号5号楼3层
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021741776.6
主分类号 :
B05C9/02
IPC分类号 :
B05C9/02  B05C13/00  B05C11/00  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C9/00
把液体或其他流体涂于表面的装置或设备,所采用的方法未包含在B05C1/00至B05C7/00组,或表面涂布液体或其他流体的方法不是重要的
B05C9/02
对表面涂布液体或其他流体采用B05C1/00至B05C7/00中未包含的一个方法,不论是否还使用其他的方法
法律状态
2021-05-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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