一种传输装置及硅片的制造设备
授权
摘要
本申请公开了一种传输装置及硅片的制造设备，所述传输装置包括连接机构及传输机构，连接机构用于连接传输轨道，传输轨道连接第一生产设备及第二生产设备，将硅片从第一生产设备传输至第二生产设备；当第一生产设备停止工作时，传输机构将第三生产设备加工后的硅片传输至传输轨道，以便传输轨道将第三生产设备加工后的硅片传输至第二生产设备，第一生产设备及第三生产设备用于对所述硅片进行预设加工；当第二生产设备停止工作时，传输机构将第一生产设备加工后的硅片传下传输轨道，实现了当通过传输轨道连接的第一生产设备及第二生产设备中的一个损坏后，另一生产设备仍然能够继续工作，保证了生产设备的生产效率，提升了设备利用率。
基本信息
专利标题 ：
一种传输装置及硅片的制造设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021748288.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN213401129U
授权日 ：
2021-06-08
发明人 ：
李朝张刚赵爱爽
申请人 ：
晶澳太阳能有限公司
申请人地址 ：
河北省邢台市宁晋县晶龙大街
代理机构 ：
北京市万慧达律师事务所
代理人 ：
顾友
优先权 ：
CN202021748288.8
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-06-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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