一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶
授权
摘要
本实用新型公开一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶，重力计量桶位于化学液供液系统和清洗设备之间，化学液供液系统通过进液管与重力计量桶的顶部相连通，重力计量桶的底部通过注液管道与清洗设置连接，注液管道上设置有电子阀，通过清洗设备药液信号控制电子阀的开关，在重力计量桶的顶部中心还设置有排气口，位于重力计量桶一侧设置有连通计量桶顶部和底部的透明液位管，位于透明液位管管道的上部及底部分别设置有工作液位传感器以及下限位传感器，在重力计量桶的桶身外壁上还设置有刻度标识，该装置使化学液计量更加精准，且能耗更低，稳定性更好，为清洗工艺稳定性提供有利条件。
基本信息
专利标题 ：
一种用于硅片清洗机化学溶液配制的重力计量桶
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021914747.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
CN213090881U
授权日 ：
2021-04-30
发明人 ：
韩云霄杨波李战国
申请人 ：
麦斯克电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市高新技术产业开发区滨河北路99号
代理机构 ：
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
卫煜睿
优先权 ：
CN202021914747.5
主分类号 ：
G01F19/00
IPC分类号 ：
G01F19/00 H01L21/67 B08B3/08 B08B13/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01F
容积、流量、质量流量或液位的测量；按容积进行测量
G01F19/00
用于流体或流动固体材料的标定容量的测量，例如量杯
法律状态
2021-04-30 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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