一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置，包括工作板和工作柱，所述工作板端部与安装板固定连接，且工作板上表面与夹持台通过螺栓装配，同时夹持台左上侧安装有左夹持装置，并且夹持台右上侧安装有右夹持装置，工作板左上侧固定连接有升降台，左夹持装置上固定连接有固定块，且固定块右上侧与夹板固定连接，同时固定块底部与滑块固定连接；所述工作柱安装在安装管内部，且工作柱下端与工作板内部通过螺栓装配。该激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置，左夹持装置与右夹持装置相向移动，通过其上的夹板，将晶圆片夹持在夹持腔中，完成对晶圆片的夹紧工作，保证晶圆片在切割时候的稳定性。

基本信息

专利标题：

一种激光晶圆切割用晶圆片的夹具装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021977388.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-11

授权号：

CN213053310U

授权日：

2021-04-27

发明人：

巩铁建陶为银

申请人：

河南通用智能装备有限公司

申请人地址：

河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

代理机构：

郑州中原专利事务所有限公司

代理人：

范小方

优先权：

CN202021977388.8

主分类号：

B23K26/38

IPC分类号：

B23K26/38 B23K26/70 B23K101/40