一种激光切割后晶圆片的储存装置

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摘要

本实用新型公开了一种激光切割后晶圆片的储存装置，包括上盖、扣锁和保护板，所述上盖通过扣锁与盒身相连接在一起，且上盖上方安装有把手,所述盒身内部填充有保护板，且保护板中间镶嵌有存放盘，所述存放盘内部设置有晶圆片槽，且晶圆片槽左右两侧安装有卡扣，所述卡扣一端连接有防磨垫，且顶杆下端连接有钢珠，所述钢珠下端贴合有弹簧片，且弹簧片两侧安装有凹槽。该激光切割后晶圆片的储存装置，设置了14个存放盒，可以储存较多的晶圆片，晶圆片槽都安装有卡扣装置，利于晶圆片的固定，且存放盒四周包裹着保护板，防止碰撞、冲击，存放盒底部安装有反弹自锁器，方便存放盒的固定，上盖边缘处设置有密封垫，防止杂质进入，更好的保证晶圆片储存。

基本信息

专利标题：

一种激光切割后晶圆片的储存装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021861060.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-31

授权号：

CN212570949U

授权日：

2021-02-19

发明人：

巩铁建陶为银

申请人：

河南通用智能装备有限公司

申请人地址：

河南省郑州市高新技术产业开发区瑞达路96号创业中心2号一楼A130-10号

代理机构：

郑州中原专利事务所有限公司

代理人：

范小方

优先权：

CN202021861060.X

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673